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智能控溫烘箱是針對光刻工（gōng）藝中hmds預（yù）處理（lǐ）的設備，被（bèi）廣泛的應（yīng）用於半導體生（shēng）產加工等方麵使用，可見烘箱溫度控製（zhì）的重要性，要掌控溫度必然需要精（jīng）密的溫度傳感（gǎn）器，以確保溫度準確有效控製。因此溫度的控製自然成了工業烤箱、烘箱（xiāng）、高溫烘箱（xiāng）的基本技術，為保證溫度控製的準（zhǔn）確性及故障（zhàng）信息反（fǎn）映的（de）及時性，烘箱內必須具有精密的（de）溫度傳感器測試係統。
智（zhì）能控溫烘箱的安全操作規程：
1、烘箱要按照銘牌上所規（guī）定的溫度範（fàn）圍使用，烘箱必須保持接地良好。
2、烘箱（xiāng）附近不得堆（duī）放油盆、油桶、棉紗、布屑等易燃物品，不得在電烘箱旁進（jìn）行洗滌、刮漆和（hé）噴漆等工作。
3、要防止其他物（wù）件落入烘箱底部與電阻絲（sī）接觸造成短路。
4、打開電烘箱前，必須先（xiān）斷電。加溫過程中操作者不得離開。
5、不得在電烘箱（xiāng）內（nèi）存放物品，如工具，器材零件及油（yóu）料揮發物。
6、經過汽油、煤油、酒精、香蕉水易燃液洗滌過的零件（jiàn）及（jí）噴漆過的物品，應在室溫下（xià）放（fàng）置15到30分鍾，待絕大部分易燃液體揮發（fā）後（hòu），才（cái）能放（fàng）入HMDS烘箱內烘烤，室內應注意通風。
7、烘箱在工作時不得進行清潔工作，更不得（dé）用汽（qì）油擦拭。
8、非金屬物品放（fàng）入電（diàn）烘（hōng）箱內加溫，一定要按照工藝規程（chéng）進行。
9、使用前（qián）要檢查自控裝置，指示信號是否靈敏有效，電氣線路絕（jué）緣是否完好可靠。
